半导体制造设备化学浓度监控器的销售将于12月11日开始

*将于12月11日在东京国际展览中心举行的“ SEMICON Japan 2019”上首次展出。

从化学浓度监控器“ CS-900”的　
左侧，显示单元，传感器单元　　
  

发展背景

半导体制造过程中的化学处理是影响表面处理的均匀性并影响成品率的重要过程，因此需要对化学物质进行严格的管理。
传统上，主要方法是将传感器单元直接连接到化学溶液流经的管道，或将管道分支并测量化学浓度以将溶液发送到测量单元。然而，存在诸如化学物质污染，引入期间与管道的复杂连接工作以及化学物质泄漏等问题。这次，我们开发了一种传感器单元，只需将​​其放置在管道周围即可安装，从而实现非接触式化学计量。这样可以消除化学泄漏和污染，并提供安全稳定的测量。另外，由于可以在不切割的情况下安装管道，因此可以减少安装的工作时间和工作量。HORIBA Advanced Techno的化学浓度监测仪“ CS系列”将利用全球70％的市场份额，并进一步扩大销售。
 

产品特点

• 
  通过防止无污染的化学物质泄漏和由于非接触式结构引起的污染，它通过安全稳定的测量有助于提高产量并减少化学药品的使用。
  
• 使用
  LED 延长光源的寿命使用 LED可以延长光源的寿命。
   
• 实现高温化学药品（20°C到80°C）的稳定测量。通过
  更新光学系统并改进计算处理，可以稳定地测量对于尖端化学处理必不可少的高温化学药品。

<标准建议售价> 
600万日元（不含税）
    

产品总览