X射线显微镜的应用

X射线显微镜的应用

X射线显微镜主要用于工业领域的研究和开发以及制造现场的检查。由于X射线可用于非接触式、非破坏性检查，因此常用于元件缺陷检查和特性检查。还可以对岩石等进行结构评估，并获取用于作为新原材料表征的参数。

在半导体制造领域，它越来越多地被用来评估超精细加工产品的特性。当观察含有大量水分的生物样品时，利用吸水率低的X射线波长区域可以获得高对比度图像。