X射线显微镜与电子显微镜的区别

X射线显微镜

1.X射线显微镜与电子显微镜的区别

X 射线显微镜使用 X 射线作为光源，而电子显微镜则通过用电子束照射样品来放大图像。电子束是快速的电子流。原子由质子和中子组成的原子核以及围绕它运行的电子组成。当质子、中子和电子被称为加速器的装置加速到非常高的速度时，它们就会变成质子束、中子束和电子束等辐射。

与X射线不同，电子束是粒子束，因此其穿透能力有限。电子束的穿透力由加速电压决定，加速电压越高，电子到达的深度越深，被照射物体的密度越低，电子穿透的深度也越深。

透射电子显微镜（TEM）
将电子束施加到薄膜样品上，电子束穿过样品，穿过电子透镜，在电子束照射的荧光屏上形成放大的图像。电子透镜通过电场或磁场使电子束弯曲以形成图像。

扫描电子显微镜(SEM)
在真空中将电子束缩小并照射以扫描样品的表面，检测从样品发射的二次电子和背向散射电子。二次电子是通过照射电子束从样品中喷射出的电子，背散射电子是从样品表面反射的照射电子。

通过在扫描电子显微镜上安装X射线检测器，还可以将其用作 X射线分析装置，以研究样品中所含元素的种类和含量。

2. 扫描X射线显微镜

一种使用硬 X 射线作为探头的 X 射线显微镜。硬X射线的波长较短，约为0.1 nm，原则上可以实现高分辨率。此外，与材料的相互作用是多种多样的，包括透射（吸收）、折射和反射，以及光电子、荧光X射线、弹性散射、非弹性散射和磁吸收/散射。

此外，由于其高渗透性，可以进行无损观察，也可用于大气中的测量。扫描X射线显微镜由聚焦X射线、扫描样品的载物台和检测器组成，在进行X射线分析（透射X射线、荧光X射线、散射X射线等）的同时进行X射线分析。扫描样本，可视化各种信息。