什么是椭偏仪？

什么是椭偏仪？

椭圆仪（英语：Ellipsometer）是一种利用光学特性以非接触、非破坏性方式测量薄膜厚度和物质光学常数的装置。

在日语中，它被称为椭圆偏振分析仪。通过将来自光源的光从某个角度照射到测量目标上，用传感器接收反射光并测量偏振状态的变化来量化测量目标的光学常数。

它通常被称为椭圆偏振仪，但正确的名称是光谱椭圆偏振仪。如果薄膜不透明或表面粗糙，无法充分反射光线，则无法进行测量。