新品发售!面罩异物检查装置“PD Xpadion EX”
株式会社堀场制作所（以下简称本公司）将于3月18日发售光罩/掩模异物检查装置“PD Xpadion EX”。
半导体制造曝光工序中不可或缺的PD系列异物检查设备自1984年推出以来，根据客户需求不断发展，今年迎来了40周年。
新产品“PD Xpadion EX”以流行的传统型号“PD Xpadion”为基础，
配备了异物清除功能，可以用一台设备完成从检测到清除的所有操作。
此外，我们还开发了一种支持自动掩模版/掩模传输的内部装置，有助于提高半导体制造工艺的效率和产量。
半导体行业的分析、测量和控制需求正以前所未有的速度变得更加复杂和多样化。
我们正在努力扩展“PD Xpadion EX”的功能，使其能够执行异物成分分析和薄膜*1膜厚度测量等一站式功能，未来我们将继续呈现新的可能性。
发展背景
在印刷半导体电路的曝光过程中，使用掩模版或掩模将电路转移到晶圆上，掩模版是绘制电路的原始板。
光罩上附着的灰尘等异物会导致质量缺陷并降低成品率，因此需要使用异物检查装置。
2021年，我们推出“PD另一方面，为了去除检测到的异物，需要去除标线或掩模并将其运送到另一台设备。
该产品的开发是基于设备集成的广泛要求，例如降低加工过程中异物粘附在产品上的风险、提高制造过程的效率以及减少安装面积。
产品特点
1. 通过集成异物检测和清除流程提高工作效率和产量
本公司异物去除率超过95% *2的标线/掩模自动异物去除装置“RP-1”的功能与“PD Xpadion”集成。
这使得自动检测和清除异物成为可能。
它还配备了一个多端口，允许同时设置两个装有标线/掩模的盒子，从而可以连续检测和清除异物。
2. 通过与自动输送设备联动，促进制造过程的自动化和节省劳动力
半导体制造工厂中，为了与 OHT（Overhead Hoist Transport：一种自动输送装置，将输送的物体保持在悬浮状态，并在安装在天花板上的轨道上运行）进行协调，需要 EFEM（设备前端模块）。：我们开发了我们的 EFEM（设备前端模块）。
自己的单元（在 OHT 和异物检查设备之间传输掩模版/掩模）。
我们灵活地响应客户的规格，为自动化和节省劳动力做出贡献，这对于提高生产率、消除劳动力短缺和简化制造领域非常重要。