HORIBA 质量流量控制器SEC-Z500X系列
HORIBA 质量流量控制器SEC-Z500X系列
数字质量流量计。
尖端工艺所需的功能都集成到这台机器中，
包括多量程/多气体功能，允许您自行更改气体类型和满量程流量，
由于压电陶瓷，精度可达 ±1.0 SP阀门、高速响应、全金属兼容性。
多量程/多气体兼容
客户
可以自行更改质量流量计的规格。
从微流量（5SCCM FS）到大流量（200SLM FS）的全系列
保证高精度
±1.0% SP（设定点）。
配备1秒内高速响应全范围（T98）变量PID。
尺寸紧凑，
面间距106mm（50SLM以下，1/4VCR型），兼容1.125英寸燃气面板。
采用超洁净兼容
气体接触部分，全不锈钢结构，标准内部抛光处理。