光罩/掩模异物检查装置“PD Xpadion EX”

 

半导体制造曝光工序中不可或缺的PD系列异物检查设备

 

新产品“PD Xpadion EX”以流行的传统型号“PD Xpadion”为基础，

配备了异物清除功能，可以用一台设备完成从检测到清除的所有操作。

此外，我们还开发了一种支持自动掩模版/掩模传输的内部装置，

有助于提高半导体制造工艺的效率和产量。

 

产品特点

1.通过集成异物检测和清除流程提高工作效率和产量

本公司异物去除率超过95% *2的标线/掩模自动异物去除装置“RP-1”的功能与“PD Xpadion”集成。

这使得自动检测和清除异物成为可能。

它还配备了一个多端口，允许同时设置两个装有标线/掩模的盒子，从而可以连续检测和清除异物。

 

 

2.通过与自动输送设备联动，促进制造过程的自动化和节省劳动力

半导体制造工厂中，为了与 OHT（Overhead Hoist Transport：一种自动输送装置，将输送的物体保持在悬浮状态，并在安装在天花板上的轨道上运行）进行协调，需要 EFEM（设备前端模块）。

我们开发了我们的 EFEM（设备前端模块）。自己的单元（在 OHT 和异物检查设备之间传输掩模版/掩模）。

我们灵活地响应客户的规格，为自动化和节省劳动力做出贡献，这对于提高生产率、消除劳动力短缺和简化制造领域非常重要。