能量分散型X射线分析仪EX-270
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- 能量分散型X射线分析仪EX-270
- HORIBA堀場
- EX-270
- 日本
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产品详细介绍
- 短時間で「最適」分析
最適データに達した時点で解析を終了させる、全く新しい分析手順を実現。
スペクトルを収集しながら定量も行えるリアルタイム分析が可能です。 - より正確・迅速な解析
正確な結果がリアルタイムで得られる TruMap、TruLine、オートレイヤーで、正確・迅速な解析を実現。
次世代検出器に最適化された定量アルゴリズムを搭載。 - 大きく進化した操作環境
初心者から上級者まで多様なユーザーに使いやすさを提供します。
マルチタスクを実現し、測定しながらデータ確認、レポート作成、プリントアウトを行う事ができます。
■形式 |
EX-270 |
EX-370 |
EX-470 |
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■検出器部 |
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◎検出器/分解能 |
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x-act検出器(標準) |
130eV |
130eV |
130eV |
x-act検出器(プレミアム) |
127eV |
127eV |
127eV |
X-Max検出器(標準:20、50、80mm2) |
127eV |
127eV |
127eV |
X-Max検出器(プレミアム:20、50、80mm2) |
124eV |
124eV |
124eV |
■機能比較 |
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◎アナライザ |
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自動定性、KLMマーカ |
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ピークプロファイルの表示 |
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定量 |
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スペクトル比較 |
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◎ポイント&ID |
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分析エリア自動収集/スペクトル再構成 |
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◎マップ |
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スマートマップ |
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部分マッピング |
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画像合成(レイヤー) |
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TruMap |
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オートレイヤー |
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ラインスキャン |
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TruLine |
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オートロック(ドリフト補正) |
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◎広域自動分析(オートメート)※1 |
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◎広域マッピング(モンタージュ)※1 |
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◎自動粒子解析(フューチャー)※1 |
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▲オプション
※1:SEM側に別途オートステージ・通信機能が必要です。対応SEMの型式をご確認ください。広域マッピング(モンタージュ)には広域自動分析(オートメート)が必要です。EMAX ENERGYソフトにて対応します。
※記載の商品名及び社名はそれぞれ各社の商標または登録商標です。
※Microsoft Wordは製品に含まれていません。