可见光谱椭偏仪Smart SE
-
- 可见光谱椭偏仪Smart SE
- HORIBA堀場
- Smart SE
- 日本
- 电议
更多详细资料请来电咨询!
产品详细介绍
- プッシュボタン感覚で、1nm~15μmの膜厚範囲の単層膜から多層膜までのサンプル測定が可能です。
- 波長450nm-1000nmをカバーしたデータ採取により、薄膜の膜厚、光学定数(屈折率、消衰係数)などの物質特性を精度良く測定します。
- 誘電体や有機薄膜など様々な材料の測定が可能です。
- イメージングシステム“MyAutoViewTM”を搭載し、サンプル表面状態や測定スポットの厳密な位置確認が可能です。
|
測定方式 |
液晶変調方式 |
---|---|
光源 |
ハロゲンランプおよび青色LED |
波長範囲 |
450nm-1000nm |
分光器 |
迷光を最小に抑えた小型スペクトログラフ(分解能:3nm以下) |
検出器 |
高感度・高安定リニアCCD(2048ピクセル) |
入射角度 |
70度固定 (45度-90度の範囲より5度刻みで変更可) |
スポットサイズ(70度入射時) |
75μm X 150μm, 100μm X 250μm, 100μm X 500μm,150μm X 150μm, 250μm X 250μm, 250μm X 500μm,500μm X 500μm ※いずれも長方形 |
サンプルステージ |
直径200mmまでのサンプルに対応 |
サンプル観察系 |
イメージングシステム MyAutoViewTM
|
操作PC |
デスクトップPC、TFTモニタ |
ソフトウェア |
分光エリプソメータ測定およびデータ解析用DeltaPsi2 |
装置寸法(操作PC除く) |
装置本体:W840mm×D230mm×H340mm@70度入射 |
オプション
電動ゴニオメータ |
入射角度の電動可変(可変範囲:45度-90度) |
---|---|
電動X-Yステージ |
200mmウェハ、もしくは 300mmウェハ対応 |
In-Situ測定用アダプタ |
プロセスチャンバー取付用フランジ |
アクセサリ |
温度可変測定用ステージ、溶液測定用セル |
必要ユーティリティ
電源 |
AC100V±5%未満 (標準消費電力:200W) |
---|