光谱椭偏仪UVISEL2

• 自動膜厚測定

  試料チルト調整、オートフォーカス、スポットサイズ選択、入射角可変、そしてマッピング機能、これらはすべてコンピュータから制御可能です。同一ファイバ・光学系のため、再調整、再校正の必要がなく、微小領域において高精度な測定が実現できます。

• 高感度位相変調法

  高周波数（50kHz）での偏光変調となる位相変調法は、機械的な動作が無く、振動やビームずれが発生しないため、優れたS/N比を実現できます。
  

• 試料ビジョンシステム

  分光エリプソメーターUVISEL2は、試料ビジョンシステムとして、画期的なカラーイメージングシステム（特許取得済）を標準搭載しています。
  このイメージングシステムは、様々な表面（荒い、滑らかな、透明、鏡面など）を有する薄膜材料上の測定スポットの可視化を実現します。

• 高性能な分光特性

  分光エリプソメーターUVISEL2は、高い波長分解能を有する波長スキャンタイプの分光器とともに、アクロマートな光学系を組み込んでいます。同分光器は、190nmから2100nmまでの広い波長域をカバーし、高スループットおよび迷光の低減を実現しております。

ソフトウェア

＜分光エリプソメーターソフトウェア　Delta Psi2＞

研究開発からルーチン作業まで対応

• システム制御、データシミュレーション、サンプル測定、モデリングそしてレポートまでを自動化
• 直感的な操作
• インポート／エクスポートパッケージ機能