光谱椭偏仪UVISEL

紫外域～近赤外域まで対応のR&D向け高精度分光エリプソメーター

先端研究の薄膜・表面・界面の特性評価のために、UVISELシリーズは、モジュール式と性能面でベストな組み合わせを提供します。UVISELシリーズは、位相変調技術に基づき、紫外域190nmから近赤外域2100nmまでの広範囲な波長域をカバーしており、高精度・高分解能測定・素晴らしいS/N比で、全波長域に渡って高品質な測定データを採取することができます。

UVISELLシリーズは、機械的な動作無く、高周波(50kHz)にて偏光変化を採取するための位相変調技術を組み込んでいます。その特徴的な技術によって、以下の特長が得られます：

• (Ψ、Δ)のすべての値のための高精度測定
• 紫外域190nmから近赤外域2100nmまでの素晴らしいS/N比
• 約60ms/ポイントと非常に速いデータ取得速度
  ～kinetic測定やIn-Situ測定へ最適～

位相変調技術を有するUVISELLシリーズは、回転機構を有する従来のエリプソメーターと比べると、薄膜を評価するために、より高感度、より高精度の測定を実現します。このことは、30μmまでの厚膜層や他のどんなエリプソメーターでもみることのできない薄膜や界面層の検出を可能とします。

UVISELはフレキシブルな構成で、製品特長に記載の波長域が対応可能で、自動化機能とアクセサリーは、ユーザの実験や研究へ対する様々な要求へ合うような能力を有しています。

UVISELLシリーズは、HORIBA Jobin Yvon社のすべての薄膜計測ツールに共通のプラットホームであるDeltaPsi2ソフトウェアによって制御されており、DeltaPsi2ソフトウェアはルーチンや先端研究の薄膜アプリケーションの両方を扱うための自動測定やモデル・パッケージの機能を有しています。

半導体、ディスプレイ、太陽光発電、光学コーティング、光エレクトロニクス、バイオおよび化学などの各分野のアプリケーションにおける、研究、産業、およびQC分析の要求に対して、UVISELシリーズは薄膜構造の高精度な評価法としてベストな解決法を提供します。